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泉州三安半导体

合作时间：2020年

预算金额：1860万元

气体种类：高纯氮（PN2）、普氮（GN2）、三氯化硼（BCL3）、氨气（NH3）、 4%氢气-氮气混合气体（4%H2/N2）、氯气（CL2）、含1%的氟和1.2%氪氖混合气（1%F2/1.2%Kr/Ne）、三氟甲烷(CHF3) 、四氟化碳（ CF4）、二氧化碳（CO₂）、高纯氩气（ PAr）、高纯氧（PO2）、高純氦气（ PHe）、1.2%氪氖混合气（1.2%Kr/Ne）

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